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      TFT Mask 規格

      1、Normal Mask size (Unit: mm)

      TFT ARRAY TFT CF
      152.4×152.4×6.4 450×550×5.0
      330×450×5.0 508×609.6×5.0
      390×610×6.0 700×800×8.0
      520×610×10.0 800×920×8.0/10.0
      520×800×10.0 800×960×8.0/10.0
      800×920×10.0 850×1200×10.0
      850×1200×10.0 850×1400×10.0
      1220×1400×13.0 1220×1400×13.0

       

      2、CD Specification (Unit: um)

      Grade GTM C B A
      TFT ARRAY ±0.1 ±0.2 ±0.35 /
      TFT CF 0.2 ±0.35 ±0.50 ±0.75

       

      3、LTPS Mask Specification (Unit: um)

      CD MTT CD Uniformity Registration
      0.1 ±0.1 ±0.3

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